| 发明名称 | 使用X－射线发射以用于制程监控的系统及方法 | ||
| 摘要 | 现提供数种通过带电粒子束(例如电子或离子)所引诱的X－射线发射为基础而用于制程监控的系统及方法，其概念在文中有描述。 | ||
| 申请公布号 | CN1720445A | 申请公布日期 | 2006.01.11 |
| 申请号 | CN200380105142.4 | 申请日期 | 2003.10.08 |
| 申请人 | 应用材料以色列公司 | 发明人 | 德罗尔·舍梅什 |
| 分类号 | G01N23/225(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | G01N23/225(2006.01) |
| 代理机构 | 上海隆天新高专利商标代理有限公司 | 代理人 | 楼仙英 |
| 主权项 | 1.一种用于制程监控的方法，该方法至少包含下列步骤：接收一由至少两种材料制成的样品；扫描多个目标点，借以引诱来自多个目标点的X-射线发射，而该多个目标点是定位于该样品的一第一区域内；检测发散自该多个目标点的X-射线；以及建立该样品的至少一区域的一图像，其可指出该过程的一状态以响应来自多个目标点的已检测X-射线发射。 | ||
| 地址 | 以色列瑞哈佛特市 | ||