| 发明名称 | 一种微机械可调谐光滤波器 | ||
| 摘要 | 一种微机械可调谐光滤波器，其中包括：一铟磷衬底；在铟磷衬底上制备有n型重掺杂的铟磷缓冲层；一下布拉格反射镜制作在铟磷缓冲层的上部，该下布拉格反射镜的宽度小于铟磷缓冲层，且该下布拉格反射镜位于铟磷缓冲层的中间；在该下布拉格反射镜上部的两侧有铟镓砷层，该两侧的铟镓砷层之间为光学厚度为半波长整数倍的空气腔；在该铟镓砷层上有一上布拉格反射镜；在下布拉格反射镜的两端、铟磷缓冲层上制备有N－面电极；在上布拉格反射镜的上表面制备有P－面电极，该P－面电极中间的部分和上布拉格反射镜构成悬臂梁；在减薄和抛光的铟磷衬底背面制备有介质增透膜；在上布拉格反射镜的中心有通光孔。 | ||
| 申请公布号 | CN1715990A | 申请公布日期 | 2006.01.04 |
| 申请号 | CN200410050070.4 | 申请日期 | 2004.07.02 |
| 申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 侯识华;潭满清;陈良惠 |
| 分类号 | G02B26/08(2006.01);G02F1/365(2006.01);H04B10/12(2006.01) | 主分类号 | G02B26/08(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汤保平 |
| 主权项 | 1.一种微机械可调谐光滤波器，其特征在于，其中包括：一铟磷衬底；在铟磷衬底上制备有n型重掺杂的铟磷缓冲层；一下布拉格反射镜制作在铟磷缓冲层的上部，该下布拉格反射镜的宽度小于铟磷缓冲层，且该下布拉格反射镜位于铟磷缓冲层的中间；在该下布拉格反射镜上部的两侧有铟镓砷层，该两侧的铟镓砷层之间为光学厚度为半波长整数倍的空气腔；在该铟镓砷层上有一上布拉格反射镜；在下布拉格反射镜的两端、铟磷缓冲层上制备有N-面电极；在上布拉格反射镜的上表面制备有P-面电极，该P-面电极中间的部分和上布拉格反射镜构成悬臂梁；在减薄和抛光的铟磷衬底背面制备有介质增透膜；在上布拉格反射镜的中心有通光孔。 | ||
| 地址 | 100083北京市海淀区清华东路甲35号 | ||