| 摘要 |
一种曝光装置，具有对彩色滤光器基板照射来自光源的曝光光线之曝光光学系，及搭载与该曝光光学系对向配置的彩色滤光器基板而以一定速度搬运的搬运机构，属于把介装于曝光光学系光路上之光罩开口部的像曝露于彩色滤光器基板上的曝光装置。系以在搬运机构移动方向之曝光光学系曝光位置的前方为摄影位置，其具有摄取预先形成于彩色滤光器基板上之黑色矩阵的摄影机构，及检出预先设定于摄影机构所摄得的黑色矩阵之基准位置，并以该基准位置为基准来控制曝光光学系曝光光线照射之时机，而在彩色滤光器基板的设定位置曝露光罩开口部的像之控制机构者。由是得以提供利用小型光罩来以高效率在广大的曝光领域施行曝光之曝光装置。 |
