液相原子力显微镜探头

摘要

本发明公开了一种液相原子力显微镜探头。于它依次具有激光器及位置敏感元件(PSD)组成的光电检测系统、XYZ压电陶瓷、气液隔离盘及微悬臂探针组成的扫描与反馈控制系统，以及由样品、样品座、液体池和升降台组成的可升降液相单元。本发明液相原子力显微镜探头结构简洁，技术条件易于实现，广泛适用于导体、半导体和绝缘体样品，既可以在空气中测量，又可以在液体甚至电化学环境下进行实时观察和测量，可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。

主权项

1.一种液相原子力显微镜探头，其特征在于它具有相连接的激光器及位置敏感元件组成的光电检测系统(2)和XYZ压电陶瓷、气液隔离盘及微悬臂探针组成的扫描与反馈控制系统(1)，光电检测系统(2)和扫描与反馈控制系统(1)的下方设有由样品、样品座、液体池和升降台组成的可升降液相单元(3)，扫描与反馈控制系统(1)具有X轴压电陶瓷(4)、Y轴压电陶瓷(5)、Z轴压电陶瓷(6)、X、Y、Z轴压电陶瓷下方设有气液隔离盘(7)及含针尖的微悬臂(8)，X、Y、Z轴压电陶瓷三者互相垂直，它们的一端均与气液隔离盘粘合，另一端分别固定，光电检测系统(2)具有激光器(9)、位置敏感元件(10)，激光器发射的激光束从微悬臂的尖端反射后，投射到位置敏感元件的光敏面上，位置敏感元件输出一个与反射光斑在光敏面上的位置相对应的光电流信号，可升降液相单元(3)具有升降台(14)、在升降台上设有液体池(13)，在液体池(13)内设有样品座(12)。