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发明名称 INTEGRATING WAVEGUIDE FOR USE IN LITHOGRAPHIC PROJECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100536210(B1) 申请公布日期 2005.12.12
申请号 KR20000029883 申请日期 2000.06.01
申请人 发明人
分类号 G03F7/20;G03F7/22;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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