发明名称 BUBBLER FOR CONSTANT VAPOR DELIVERY OF A SOLID CHEMICAL
摘要
申请公布号 CA2566944(A1) 申请公布日期 2005.12.01
申请号 CA20052566944 申请日期 2005.05.17
申请人 AKZO NOVEL N.V. 发明人 TRAN, NAM HUNG;DEAVENPORT, DENNIS LEON;EL-ZEIN, NADA;KO, TAEHO
分类号 C23C16/448 主分类号 C23C16/448
代理机构 代理人
主权项
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