发明名称 A method of plating a thin film
摘要
申请公布号 KR100528030(B1) 申请公布日期 2005.11.15
申请号 KR20030100110 申请日期 2003.12.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址