发明名称 半导体装置
摘要 本发明之目的是使外部陆块和指状物间之引回配线之长度之差成为最小,在以此方式构成之配线基板之一面,固定2个焊垫半导体晶片成为背对背重叠之方式,以高导电率之金属线进行各个焊垫和对应之指状物之间之连接,使容量成为2倍,藉以使半导体装置之厚度尺寸变薄。本发明之解决手段是在第1面和第2面进行配线,固定具有穿通孔之配线基板和第1焊垫半导体晶片之主面,以接合材料固定第1半导体晶片之背面和第2半导体晶片之背面,利用金属线连接各个半导体晶片之焊垫和对应之配线基板之指状物,利用密封树脂密封配线基板之一面,和在配线基板之另外一方之面,埋入到穿通孔之近傍藉以进行密封。
申请公布号 TWI243464 申请公布日期 2005.11.11
申请号 TW090122332 申请日期 2001.09.10
申请人 三菱电机股份有限公司 发明人 道井一成;秋山龙彦
分类号 H01L23/498;H01L25/18;H01L27/00 主分类号 H01L23/498
代理机构 代理人 赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号1112室
主权项 1.一种半导体装置,包含: 一配线基板,其具有一穿通孔并且配置有陆块、指 状物、引回配线和通孔于其之一第1面及一第2面 上; 一第1半导体晶片,于其上的一主面配置有中央焊 垫,其中,上述配线基板之该第2面与上述第1半导体 晶片之该主面相互结合使得上述配线基板之穿通 孔围绕上述中央焊垫; 具有焊垫之一第2半导体晶片,其中,上述第1半导体 晶片之一背面以及上述第2半导体晶片之一背面系 利用接合材料彼此结合; 金属线,其通过该配线基板内之穿通孔且将该第1 半导体晶片的该中央焊垫连接至对应于该配线基 板之第1面的该中央焊垫之指状物,以及将该第2半 导体晶片的该焊垫连接至所对应该配线基板之第2 面的该焊垫之指状物的金属线;以及 密封树脂,用以包覆该金属线,该第1半导体晶片及 该第2半导体晶片并且充填穿通孔。 2.如申请专利范围第1项之半导体装置,包含设于上 述配线基板之第1面上的陆块之焊球。 3.如申请专利范围第1项之半导体装置,其中, 上述第1半导体晶片上之中央焊垫,藉由球接金线 到该中央焊垫,以及针脚接合到该指状物,被连接 于设在上述配线基板之第1面的指状物;及 上述配线基板之第2面之指状物,藉由球接金线到 该指状物,以及针脚接合到该焊垫,被连接于上述 第2半导体晶片的焊垫。 4.如申请专利范围第1项之半导体装置,其中: 上述指状物之第一族群,被设置在上述穿通孔之近 傍,且与上述穿通孔大致平行,以及对应之陆块,其 排列在该上述指状物之第一族群的外侧并与其平 行,以复数个等距之列的形式设置于上述配线基板 之第1面上;及 上述指状物之第二族群,被设置在上述之配线基板 之外周边之近傍,且与上述之外周边大致平行,以 及对应之陆块,其排列在该上述指状物之第二族群 的外侧并与其平行,以复数个等距之列的形式设置 于上述配线基板之第2面上。 5.如申请专利范围第1项之半导体装置,其中: 部份上述之指状物,被设置在上述穿通孔之近傍, 沿着并大致平行于上述穿通孔;及 某些上述之陆块,沿着上述配线基板之外周边,以 等间隔排列在上述外周边和上述指状物之间的区 域,成为大致平行之多个列。 6.一种半导体装置,包含: 一配线基板,具有第1面和第2面,上述第2面包含有 一框状表面于外周边区域且具有指状物;及一中心 面,其位于该框状表面内,且与上述之框状表面系 不同平面,上述之第1面和上述第2面之中心面具有 一穿通孔、陆块、指状物、引回配线,和通孔; 第1和第2半导体晶片皆具有设于该第1和第2半导体 晶片之主面中央的中央焊垫,该第1和第2半导体晶 片以背对背的方式彼此接合,并接合于该配线基板 ,使得上述第1半导体晶片之主面被接合材料固定 在上述之配线基板之上述中心面,且该穿通孔围绕 该第1半导体晶片之中央焊垫,上述第2半导体晶片 之主面和上述框状表面系大致嵌平; 藉由球接到上述中央焊垫,以及针脚接合到上述指 状物的方式,金属线电性地将该第1和第2半导体晶 片上的中央焊垫连接到该配线基板的指状物;及 密封树脂,用以包覆上述之金属线,上述第1和第2半 导体晶片,上述配线基板之第2面,并充填上述穿通 孔。 7.如申请专利范围第6项之半导体装置,包括设于上 述配线基板之第1面之陆块的焊球。 8.如申请专利范围第1项之半导体装置,其中,上述 密封树脂包括一密封树脂之第一主体,用以包覆该 第1和第2半导体晶片,以及一密封树脂之第二主体, 用以充填该通孔,且上述密封树脂之第一主体与第 二主体没有相互接触。 9.如申请专利范围第6项之半导体装置,其中,该金 属线之部份穿过该配线基板中的穿通孔,连接该第 1半导体指状物上的该中央焊垫,该指状物对应于 该配线基板第1面上之该第1半导体晶片的该中央 焊垫,并且该金属线之部份连接该第2半导体晶片 上的该中央焊垫于指状物,该指状物对应于该框状 表面上之该第2半导体晶片的该中央焊垫。 10.如申请专利范围第6项之半导体装置,其中,上述 密封树脂包括一密封树脂之第一主体,用以包覆该 第1和第2半导体晶片,以及一密封树脂之第二主体, 用以充填该通孔,且上述密封树脂之第一主体与第 二主体没有相互接触。 11.如申请专利范围第6项之半导体装置,其中,上述 第1半导体晶片和上述第2半导体晶片系为相同。 图式简单说明: 图1是剖面图,用来表示实施形态1之半导体装置之 构造。 图2是被配置在图1之半导体装置所使用之配线基 板之第1面之配线图型之平面图。 图3是被配置在图1之半导体装置所使用之配线基 板之第2面之配线图型之平面图。 图4是图1之半导体装置所使用之配线基板之配线 图型之平面图。 图5(a)-(i)是图1所示之半导体装置之制造流程图。 图6是剖面图,用来表示实施形态2之半导体装置之 构造。 图7是被配置在图6之半导体装置所使用之配线基 板之第2面之配线图型之平面图。 图8是从图7之箭视VIII-VIII线看之剖面图。 图9是剖面图,用来表示习知之半导体装置之构造 。 图10是剖面图,用来表示习知之半导体装置之构造 。 图11是图9之半导体装置所使用之配线基板之配线 图型之平面图。
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