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发明名称 CROSS-LINKING POLYMER FOR ORGANIC ANTI-REFLECTIVE COATING, ORGANIC ANTI-REFLECTIVE COATING COMPOSITION COMPRISING IT AND PHOTORESIST PATTERN-FORMING METHOD USING IT
摘要
申请公布号 KR100526459(B1) 申请公布日期 2005.11.08
申请号 KR20030067277 申请日期 2003.09.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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