一种低温大单层厚度钛酸铅铁电薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种低温大单层厚度钛酸铅铁电薄膜的制备方法，用聚醋酸乙烯酯PVAC作为钛酸铅PbTiO₃铁电薄膜先驱体的添加剂，制备PbTiO₃－PVAC复醇盐－有机物溶液，然后将这种溶液用甩胶法制成凝胶薄膜，将凝胶薄膜进行热处理后，得到结晶的钛酸铅PbTiO₃铁电薄膜。本发明缩短了钛酸铅PbTiO₃铁电薄膜的制备工艺周期、改善了钛酸铅PbTiO₃铁电薄膜的性能、提高了铁电薄膜制备工艺与微电路的集成兼容性。

主权项

1、一种低温大单层厚度钛酸铅铁电薄膜的制备方法，其特征在于，用聚醋酸乙烯酯PVAC作为钛酸铅PbTiO3铁电薄膜先驱体的添加剂，制备PbTiO3-PVAC复醇盐-有机物溶液，然后将这种溶液用甩胶法制成凝胶薄膜，将凝胶薄膜进行热处理后，得到结晶的钛酸铅PbTiO3铁电薄膜，具体步骤是：首先，按湿化学方法合成钛酸铅PbTiO3复醇盐溶液；其次，将聚醋酸乙烯酯PVAC以溶液或以粉末的形式加入钛酸铅PbTiO3复醇盐溶液中，制得钛酸铅PbTiO3在0.5-2.0M、聚醋酸乙烯酯PVAC聚合物单体在0.1-0.5M范围的PbTiO3-PVAC复醇盐-有机物混合溶液；最后，采用甩胶法将PbTiO3-PVAC复醇盐-有机物溶液涂覆在Pt/Ti/SiO2/Si基底上，在410-430℃下进行60-120分钟的热处理，即结晶成具有四方钙钛矿结构的钛酸铅PbTiO3薄膜。