| 主权项 |
1.一种阵列基板之检查方法,其系具备:基板;形成 于前述基板上之扫描线;与前述扫描线交差形成之 信号线;形成于前述扫描线与信号线之交差部附近 之开关元件;与前述开关元件连接之像素电极;及 制入前述基板上并包含于前述扫描线供给驱动信 号之扫描线驱动电路与于前述信号线供给驱动信 号之信号线驱动电路之至少一方驱动电路之驱动 电路部之阵列基板之检查方法,其特征在于: 于将前述阵列基板配置于测试室内之状态下,对于 前述驱动电路部供给电性信号,藉由测出流经前述 驱动电路部之电性信号,检查前述驱动电路部; 对于充填电荷之前述像素电极照射电子束,根据由 前述像素电极放出之2次电子资讯,关于前述像素 电极进行检查。 2.如申请专利范围第1项之阵列基板之检查方法,其 中前述驱动电路部之检查与关于前述像素电极之 检查,系于独立时间进行。 3.如申请专利范围第1项之阵列基板之检查方法,其 中检查前述驱动电路部之际,系利用为于前述像素 电极充填电荷之电性信号而进行。 4.如申请专利范围第1项之阵列基板之检查方法,其 中前述开关元件及前述驱动电路部系包含使用多 晶矽之电晶体而构成。 5.一种阵列基板之检查装置,其包含: 检查室,其系可配置成为检查对象之阵列基板者; 电子束照射手段,其系对于前述阵列基板照射电子 束者; 电子测出手段,其系测出由前述阵列基板放出之2 次电子者; 电性信号供给手段,其系对于前述阵列基板供给电 性信号者;及 电性信号一测出手段,其系测出流经前述阵列基板 之电性信号者。 图式简单说明: 图1系为说明阵列基板之检查方法之流程图。 图2系具备阵列基板之液晶显示面板之概略剖面图 。 图3系表示图2所示液晶显示面板一部分之全体图 。 图4系表示利用母基板构成之阵列基板之排列例之 平面图。 图5系图4所示阵列基板之阵列基板主区块之概略 平面图。 图6系扩大表示图5所示阵列基板之像素区域一部 分之概略平面图。 图7系图6所示具备阵列基板之液晶显示面板之概 略剖面图。 图8系包含电性测试器及电子束测试器之阵列基板 之检查装置之概略构成图。 图9系表示成为检查对象之阵列基板端部之例之平 面图。 图10系表示阵列基板之阵列基板主区域之变形例 之概略平面图。 |
