| 发明名称 | 含导电聚合物的抛光组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种抛光体系，其包括(a)抛光剂，抛光垫，氧化衬底的手段，或其任何组合，(b)具有10<SUP>－10</SUP>S/cm至10<SUP>6</SUP>S/cm电导率的导电聚合物，和(c)液体载体。 | ||
| 申请公布号 | CN1668714A | 申请公布日期 | 2005.09.14 |
| 申请号 | CN03817168.6 | 申请日期 | 2003.06.25 |
| 申请人 | 卡伯特微电子公司 | 发明人 | 艾萨克·K·彻里安;张剑;弗里德·F·森;王淑敏;埃里克·H·克林根伯格 |
| 分类号 | C09G1/02 | 主分类号 | C09G1/02 |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 宋莉;贾静环 |
| 主权项 | 1.一种抛光体系，包括：(a)抛光剂，抛光垫，氧化衬底的手段，或其任何组合；(b)导电聚合物；和(c)液体载体；其中导电聚合物具有10-10S/cm至106S/cm的电导率。 | ||
| 地址 | 美国伊利诺伊州 | ||