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发明名称 Layout-Struktur kapazitiver Elemente und deren Verbindungsleitungen auf einem Halbleiter
摘要
申请公布号 DE69733859(D1) 申请公布日期 2005.09.08
申请号 DE1997633859 申请日期 1997.05.28
申请人 TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO 发明人 HIROTA, YOSHIHIRO;MATSUMOTO,;SHOU, GUOLIANG;MOTOHASHI, KAZUNORI
分类号 H01L21/768;H01L21/822;H01L23/522;H01L27/04;H01L27/08;(IPC1-7):H01L27/08 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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