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发明名称 APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050089215(A) 申请公布日期 2005.09.08
申请号 KR20040014519 申请日期 2004.03.04
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KANG, SANG WOO
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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