抛光装置

摘要

一种抛光装置，具有设成可将半导体晶圆(W)固持在基板固持表面上之顶部环圈(1)及设成可将该半导体晶圆(W)传递至该顶部环圈(1)及从该顶部环圈(1)接收该半导体晶圆(W)之推送器(130)。该推送器(130)包括具有可将该半导体晶圆(W)放置于其上之基板放置表面的推送平台(133)，以及设成可垂直移动该推送平台(133)之空气缸(135)。该推送器(130)亦包括高压流体孔(220)，设成可朝向该半导体晶圆(W)来喷射高压流体。