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发明名称 VORRICHTUNG ZUR PLASMATECHNISCHEN ABSCHEIDUNG VON POLYKRISTALLINEM DIAMANT
摘要
申请公布号 DE59912310(D1) 申请公布日期 2005.08.25
申请号 DE19995012310 申请日期 1999.09.01
申请人 UNAXIS DEUTSCHLAND HOLDING GMBH;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 LIEHR, MICHAEL;SCHAEFER, LOTHAR
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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