发明名称 ELEKTRONISCHE/ELEKTRISCHE BAUTEILE ZUR VERWENDUNG IN REINRAUM UND VORRICHTUNG ZUM BEHANDELN VON SUBSTRATEN
摘要
申请公布号 DE69825876(T2) 申请公布日期 2005.08.11
申请号 DE19986025876T 申请日期 1998.03.25
申请人 TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO;TAISEI CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 MATSUO, TAKENOBU;WAKABAYASHI, TSUYOSHI;SAITO, MISAKO;KOBAYASHI, SADAO;WAKAYAMA, YOSHIHIDE;IMAFUKU, MASAYUKI
分类号 C08K5/00;(IPC1-7):C08L101/00;C08K5/05;C08K5/13;H01L21/02 主分类号 C08K5/00
代理机构 代理人
主权项
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