导轨支承装置、导轨装置、驱动装置以及测量机

摘要

一种支承导轨(200)的导轨支承装置(300)，该导轨用于对相对于基座(3)相对移动的可动部件进行导向。所述导轨支承装置具有被连接固定在基座(3)上并且承载导轨(200)的基体(410、510)；和介于被承载在基体(410、510)上的状态的导轨(200)和基体(410、510)之间而支承导轨(200)的支承机构(440、530)。支承机构(440、530)可以摆动地支承导轨(200)。基体(410、510)的姿势和位置的变化由支承装置带来的摆动抵消，而不影响到导轨。其结果，过度的力不会作用于导轨上，从而导轨的形状被保持。

主权项

1.一种导轨支承装置，它是将对可动部件进行导向的导轨相对于基座保持在大致固定位置上的同时、支承导轨的导轨支承装置，其特征在于，具有支承上述导轨的支承机构，通过该支承机构支承上述导轨，从而在上述基座和上述导轨中至少任一方上产生了变形时，在不使产生了变形一方的变形向另一方传递的情况下容许上述一方的变形。