| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR DAMPFPHASENABSCHEIDUNG EINES FILMS AUF EINEM SUBSTRAT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60104426(T2) |
申请公布日期 |
2005.07.21 |
| 申请号 |
DE20016004426T |
申请日期 |
2001.07.09 |
| 申请人 |
ASM INTERNATIONAL N.V., BILTHOVEN |
发明人 |
VAN WIJCK, ALBERTINE |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/02;H01L21/285;H01L21/316;(IPC1-7):C23C16/02 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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