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发明名称 PROGNOSTIC HEALTH MONITORING OF FLUIDIC SYSTEMS USING MEMS (MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS) TECHNOLOGY
摘要
申请公布号 EP1551527(A1) 申请公布日期 2005.07.13
申请号 EP20020770618 申请日期 2002.10.18
申请人 PTI TECHNOLOGIES, INC. 发明人 MOSCARITOLO, DANIEL
分类号 B01D29/60;B01D35/143;B01D37/04;G01F1/684;G01F1/692;G01F15/12;(IPC1-7):B01D29/60 主分类号 B01D29/60
代理机构 代理人
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