发明名称 Metallleitungsstruktur und Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号 DE19700650(B4) 申请公布日期 2005.07.07
申请号 DE1997100650 申请日期 1997.01.10
申请人 LG SEMICON CO., LTD. 发明人 JUN, YOUNG KWON
分类号 H01L21/31;H01L21/265;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;H01L23/532;(IPC1-7):H01L23/532 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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