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发明名称 SHALLOW TRENCH ISOLATION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050067487(A) 申请公布日期 2005.07.04
申请号 KR20030098472 申请日期 2003.12.29
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 PARK, KYE SOON
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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