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发明名称 RECYCLING A WAFER COMPRISING A BUFFER LAYER, AFTER HAVING TAKEN OFF A THIN LAYER THEREFROM
摘要
申请公布号 EP1532677(A2) 申请公布日期 2005.05.25
申请号 EP20030792600 申请日期 2003.08.26
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 GHYSELEN, BRUNO;AULNETTE, CECILE;OSTERNAUD, BENEDITE;LE VAILLANT, YVES-MATHIEU;AKATSU, TAKESHI
分类号 H01L21/20;H01L21/02;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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