Verfahren zur Abscheidung eines leitfähigen Materials auf einem Substrat und Halbleiterkontaktvorrichtung

摘要

Die vorliegende Erfindung stellt ein Verfahren zur Abscheidung eines Kohlenstoffmaterials (17) in oder auf einem Substrat (14) mit den Schritten bereit: Erhitzen des Innenraums (10') einer Prozeßkammer (10) auf eine vorbestimmte Temperatur; Einbringen des Substrats (14) in die Prozeßkammer (10); Evakuieren der Prozeßkammer (10) auf einen ersten vorbestimmten Druck oder darunter; Einleiten eines Gases (12), welches zumindest Kohlenstoff aufweist, bis ein zweiter vorbestimmter Druck erreicht ist, welcher höher als der erste vorbestimmte Druck ist; und Abscheiden des Kohlenstoffmaterials (17) auf einer Oberfläche oder in einer Ausnehmung (15) aus dem Gas (12), welches Kohlenstoff enthält. Die vorliegende Erfindung stellt ebenfalls eine Halbleiterkontakteinrichtung bereit.