| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR FORMING THIN FILMS USING UPSTREAM AND DOWNSTREAM EXHAUST MECHANISMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050034567(A) |
申请公布日期 |
2005.04.14 |
| 申请号 |
KR20040080712 |
申请日期 |
2004.10.09 |
| 申请人 |
ASM JAPAN K.K. |
发明人 |
KAWANO, BAIEI;SHIMIZU, AKIRA;SHINRIKI, HIROSHI |
| 分类号 |
C23C16/455;C23C16/34;C23C16/44;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/455 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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