密封总成之改良

摘要

一种密封总成，用以保护一供用于一真空泵浦中的静止密封装置。该密封总成包括：至少两个成密封性连接在一起的构件；一o形环密封，被结合在该两构件之间，用以阻止流体在该两构件之间，往复该泵浦传输；及一流体通道。该流体通道是在该o形环的平面上，并系设置在该o形环密封及一制程气体流径之间。当该装置系在使用中时，该流体通道供给障阻气体(barriergas)一可经由流过的途径。该通道系连接至障阻气体一外在源头，并具有一与该泵浦的扫掠容积(swept volume)相流体连通的出口。