供用于微电子装置之有机矽酸盐树脂配方

摘要

一种可固化之有机矽酸盐组成物，其系于电子装置制造中被用以形成一或更多层，包含：(a)烷氧基或醯氧基之矽烷，其具有至少一键结至此矽原子之含有乙烯不饱和之基，(b)烷氧基或醯氧基之矽烷，其具有至少一键结至此矽原子之含有芳香族环之基，(c)潜酸催化剂，及(d)选择性地，矽烷基或醯氧基之矽烷，其具有至少一键结至此矽原子之C1–C6烷基。