正型光阻组成物用树脂、及使用其之正型光阻组成物、层合体以及形成光阻图型之方法

摘要

具有下述四个构成单位的正型光阻组成物用树脂。093119855-p01.bmp(式中，R为表示–H或–CH3)093119855-p02.bmp(式中，R：–H或–CH3、X：与键结于此x之羧基共同形成三级烷酯的酸解离性溶解抑制基)093119855-p03.bmp(式中，R、R^1：–H或–CH3、R2：–CH3或–C2H5、R3：低级烷基)。093119855-p04.bmp093119855-p01.bmp