敏辐射线性树脂组成物、层间绝缘膜及微透镜、以及此等之制造方法

摘要

本发明系揭示含有〔A〕(a1)不饱和羧酸及／或不饱和羧酸酐、(a2)具有下列式093122766-p01.bmp所示脂环式环氧骨架之不饱和化合物与(a3)(a1)及(a2)以外之不饱和化合物的共聚物，〔B〕1，2–二叠氮磺酸酯之敏辐射线性树脂组成物，以及由其制成之层间绝缘膜与微透镜。该敏辐射线性树脂组成物具有高辐射线敏感度，及既使显像步骤超过最佳显像时间仍能形成良好图型之显像裕度，故易形成密合性优良之图型状薄膜。