| 发明名称 |
Organic thin film manufacturing method and apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2403955(A) |
申请公布日期 |
2005.01.19 |
| 申请号 |
GB20040003645 |
申请日期 |
2004.02.19 |
| 申请人 |
* FUJI ELECTRIC HOLDINGS COMPANY LIMITED |
发明人 |
NORIYUKI * MATSUKAZE;HIROSHI * KIMURA |
| 分类号 |
C23C14/12;C23C14/24;H01L51/50;H01L51/56;H05B33/10;(IPC1-7):C23C14/12 |
主分类号 |
C23C14/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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