发明名称 | 一种厚/宽度非接触测量方法及系统 | ||
摘要 | 本发明是一种厚/宽度非接触测量方法及系统,该方法是将准直光源发出的光束经非对称扫描转镜形成扫描光束,扫描光束被待测工件反/散射后,由接收物镜汇聚至光电接收元件,通过测量反/散射光在待测工件上的持续时间,通过特定测量方程得到工件厚/宽度。该系统是由准直光源、非对称扫描转镜、接收物镜、光电接收器依次相互连接组成,光电接收器还通过信号线与计算机相连接。本发明使用子非对称的转镜扫描,无扫描物镜,制造简单,系统误差可通过计算机实现有效补偿,系统工作稳定性好,安装调试及维护方便,成本低,还可方便地实现便携结构。 | ||
申请公布号 | CN1563884A | 申请公布日期 | 2005.01.12 |
申请号 | CN200410026785.6 | 申请日期 | 2004.04.07 |
申请人 | 华南理工大学 | 发明人 | 马国欣 |
分类号 | G01B11/02;G01B11/26 | 主分类号 | G01B11/02 |
代理机构 | 广州市华学知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李卫东 |
主权项 | 1.一种厚/宽度非接触测量方法,其特征是,将准直光源发出的光束通过非对称扫描转镜形成扫描光束,扫描光束在待测工件截面反/散射后,由接收物镜汇聚至光电接收元件,通过测量反/散射光在待测工件上的持续时间,按照下式测量得到工件厚/宽度H:H=2·h·tan(θ2/2)·tan(θ3/2)/(tan(θ3/2)-tan(θ2/2))其中,h为非对称扫描转镜两反射面到旋转轴中心距离之差;θ2、θ3分别为非对称扫描转镜两反射面反射点对待测工件截面的张角。 | ||
地址 | 510640广东省广州市天河区五山路381号 |