贴合基板制造装置及贴合基板制造方法

摘要

本发明提供一种贴合基板制造装置，其可在贴合时防止基板之横向滑移。在小室内互相对向配置着之加压板及平台，分别藉由压力差吸附及静电吸附来保持第一基板及第二基板，在平台之基板保持面形成有由摩擦阻力材料所成之第三保持面，即，藉摩擦阻力来进一步保持第二基板。在贴合时，藉加诸于两基板之加工压之反力，来防止基板之横向滑移。