形成鳍状场效电晶体装置中之闸极及薄化该鳍状场效电晶体装置之通道区域中之鳍的方法

摘要

一种制造鳍状场效电晶体装置之方法，系包括：在绝缘层上形成鳍(Fin)结构。该鳍结构包括导电鳍。该方法亦包括：形成源极／汲极区及在该鳍上形成虚拟闸极。该虚拟闸极可移除且该通道区域中的鳍片的宽度可缩小。该方法复包括：沉积金属材料以代替该移除的虚拟闸极。