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发明名称 FARADAY SHIELDS AND PLASMA WAFER PROCESSING
摘要
申请公布号 KR20040089656(A) 申请公布日期 2004.10.21
申请号 KR20047013039 申请日期 2003.02.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/18;H05H1/46;C23C14/34;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/18
代理机构 代理人
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