| 摘要 |
本发明的课题在于提供一种计测装置，该计测装置即使在基板发生翘曲等的情况下，仍不进行物理性的矫正，可进行更加正确的计测。三维计测装置1系具备有三维计测用照射机构5、可藉由Z轴移动机构9而上下移动的CCD照相机6、主控制机构7。在各个拍摄区域中之拍摄和计测之前，为在规定之拍摄区域中，测定对于预定的基准高度位置之高度方向的偏移量，在该偏移量在预定的允许范围内之情况下，为保持相对高度关系的状态而进行在该区域中之计测用的拍摄，当转移到下一拍摄区域时，仅以偏移量来补偿相对高度关系。在偏移量不在允许范围内之情况下，藉由仅以偏移量支量额来补偿相对高度关系、进行计测用的拍摄。 |
