| 发明名称 |
Düsenanordnung |
| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Düsenanordnung (1), insbesondere zur Einspritzung eines Fluids in eine Vakuumkammer, mit einem Düsenkanal mit einer vorgegebenen Innenkontur, wobei der Düsenkanal in eine Austrittsöffnung mündet. Es wird vorgeschlagen, dass die Innenkontur des Düsenkanals mindestens teilweise konkav geformt ist.
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| 申请公布号 |
DE10308299(A1) |
申请公布日期 |
2004.09.16 |
| 申请号 |
DE20031008299 |
申请日期 |
2003.02.26 |
| 申请人 |
MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V.;GEORG-AUGUST-UNIVERSITAET GOETTINGEN |
发明人 |
FAUBEL, MANFRED;WOLF, DETLEF;TROE, JUERGEN;CHARVAT, ALES |
| 分类号 |
B05B1/00;B05B1/04;(IPC1-7):B05B1/02;B05B1/24 |
主分类号 |
B05B1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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