发明名称 Microelectromechanical actuators including driven arched beams for mechanical advantage
摘要
申请公布号 EP1143467(B1) 申请公布日期 2004.09.15
申请号 EP20010302514 申请日期 2001.03.19
申请人 MEMSCAP S.A. 发明人 HILL, EDWARD ARTHUR;DHULER, VIIJAYAKUMAR RUDRAPPA;COWEN, ALLEN BRUCE;MAHADEVAN, RAMASWAMY;WOOD, ROBERT L.
分类号 H01H1/00;H01H61/02;B81B7/02;(IPC1-7):H01H1/00;G02B6/26 主分类号 H01H1/00
代理机构 代理人
主权项
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