| 摘要 |
本发明之目的在于，提供一种无须开发特别的外部试验机，即可简单且迅速执行半导体积体电路之数位电路试验的半导体积体电路之试验装置及使用此的半导体积体电路之制造方法。作为解决问题之手段，系将进行半导体积体电路之数位电路试验的测试辅助装置，配置在与半导体积体电路进行信号互传的测试电路基板附近。该测试辅助装置具有记忆对应复数测试项目之复数测试图案资料的测试图案记忆体；及写入从复数测试图案资料中所选择之测试图案资料的测试图案信号产生器。从测试图案记忆体读出所选择之测试图案资料的动作，及将此写入测试图案信号产生器的动作，系藉由控制部所控制。 |
