| 发明名称 |
MEMBRANSONDENSYSTEM MIT ÖRTLICHEM KONTAKTREINIGER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69726169(T2) |
申请公布日期 |
2004.08.26 |
| 申请号 |
DE19976026169T |
申请日期 |
1997.05.02 |
| 申请人 |
CASCADE MICROTECH, INC. |
发明人 |
GLEASON, REED;SMITH, A.;BAYNE, MIKE |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R1/06;G01R1/067;G01R1/073;G01R31/02;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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