发明名称 SINGLE BODY INJECTOR AND DEPOSITION CHAMBER
摘要
申请公布号 EP1017873(A4) 申请公布日期 2004.08.25
申请号 EP19980933329 申请日期 1998.07.10
申请人 SILICON VALLEY GROUP THERMAL SYSTEMS LLC 发明人 MILLER, ADAM, Q.;DOBKIN, DANIEL, M.
分类号 C03C17/00;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/00;C03B19/14 主分类号 C03C17/00
代理机构 代理人
主权项
地址