等离子体处理器装置和方法，以及天线

摘要

一种包括激发端的天线，该激发端能响应RF源向在真空腔室中处理工件的等离子体提供RF电磁场。匹配网络包括分别连接在源和激发端之间以及激发端和天线等离子体激发线圈之间的第一和第二部分。响应在源和它的负载之间的阻抗匹配的指示，在(1)第一部分和端点之间，以及(2)端点和线圈之间的流动的电流可以被控制使得后者超过前者。该指示控制第一和第二部分的阻抗或者第一部分阻抗和源的频率。线圈可以包括一个变压器，该变压器具有与激发端相耦合的初级绕组和多匝等离子体激发次级绕组。

主权项

1.一种等离子体处理器天线，它采用AC源的功率驱动，该天线包括适用于由源的功率来提供功率的第一和第二激发端，构成通过天线之外的电路由耦合至所述第一和第二激发端的功率赋能的等离子体激发线圈，该天线所具有的连接和阻抗的数值使得通过天线之外电路流过激发端的电流小于在所述线圈的等离子体激发绕组中流动的电流。