具有保护薄膜之光罩及其制造方法

摘要

一种具有保护薄膜之光罩制作方法，包括以下步骤。首先，提供一基底，该基底具有一透光层，在该透光层上具有一遮光层，在该遮光层上更具有一光阻层。接着，在该光阻层及遮光层中形成一曝露该透光层之凹槽。然后，移除该光阻层。再者，污染该曝露之透光层而在凹槽下方之该透光层中形成一不透光区。最后，移除该遮光层。