发明名称 蚀刻液
摘要 本发明提供一种可将镍、铬或镍·铬合金迅速溶解,并可抑制铜腐蚀的蚀刻液。它是将1~50重量%的硫酸、0.1~20重量%的盐酸、0.01~20重量%的具有捕捉铜离子功能的铜腐蚀抑制成分与水配制成蚀刻液。上述铜腐蚀抑制成分可以是例如含有硫原子、且含有至少一种选自氨基、亚氨基、羧基、羰基及羟基中的取代基的碳原子数为7以下的化合物;噻唑;噻唑类化合物;苄烷铵以及烷基醇酰胺等。
申请公布号 CN1506496A 申请公布日期 2004.06.23
申请号 CN200310118884.2 申请日期 2003.12.04
申请人 美格株式会社 发明人 栗山雅代;大串亮;秋山大作
分类号 C23F1/26;C23F1/28 主分类号 C23F1/26
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人 戈泊;程伟
主权项 1.一种蚀刻液,其特征在于,含有可溶解镍、铬或镍·铬合金的酸成分和具有捕捉铜离子功能的铜腐蚀抑制成分。
地址 日本国兵库县