使用粘性流沉积OLED器件中的层

摘要

一种沉积图案化有机层的方法，包括：在减压的工作腔内提供一个集流腔和一个OLED显示器衬底，并且彼此间隔排列；提供一个密封覆盖集流腔的至少一个表面的结构，该结构包括多个从该结构延伸出来伸入集流腔的喷嘴。该方法还包括将气化有机材料送入集流腔，以及向集流腔加压注入惰性气体，使得惰性气体提供流经每个喷嘴的粘性气流，该粘性气流输送来自集流腔的至少部分气化有机材料通过喷嘴，以提供惰性气体和气化有机发光材料的定向射流，将该定向射流投射到OLED衬底上，以在衬底上沉积有机层的图案。

主权项

1.一种在OLED显示器衬底上以图案方式沉积有机层的方法，包括以下步骤：a)在减压的工作腔内提供一个集流腔以及一个OLED显示器衬底，并且彼此间隔排列；b)提供一个密封覆盖集流腔的一个表面的结构，该结构包括多个从该结构延伸出来伸入集流腔的喷嘴，喷嘴相互间隔排列并与要沉积在OLED显示器衬底上的图案相对应；c)使OLED显示器衬底朝向该结构的喷嘴；d)将气化有机材料送入集流腔；以及e)向集流腔加压注入惰性气体，使得惰性气体提供通过每个喷嘴的粘性气流，该粘性气流输送来自集流腔的至少部分气化有机材料通过喷嘴，以提供惰性气体和气化有机材料的定向射流，将该定向射流投射到OLED显示器衬底上，以在衬底上沉积有机层的图案。