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发明名称 SYSTEM AND METHOD FOR DEFECT LOCALIZATION
摘要
申请公布号 AU2003272829(A1) 申请公布日期 2004.04.23
申请号 AU20030272829 申请日期 2003.10.03
申请人 APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD. 发明人 CHRIS TALBOT;LIOR LEVIN;GILAD ALMOGY
分类号 G01N21/956;(IPC1-7):G01R31/308 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人
主权项
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