电浆处理装置

摘要

本发明揭示一种电浆处理装置，用以将射频功率供应至一处理室中以便产生电浆，从而处理需利用该电浆处理之一物件。在该电浆处理装置中，该处理室具有一顶板，该顶板与需处理之该物件相对而置，其间为用以产生该电浆的一区域之媒体，且一射频天线置放于该处理室之内部及外部，使该射频天线缠绕该顶板。