发明名称 |
WAVEFORM GENERATOR FOR MICRODEPOSITION CONTROL SYSTEM |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1399269(A1) |
申请公布日期 |
2004.03.24 |
申请号 |
EP20020756113 |
申请日期 |
2002.05.31 |
申请人 |
LITREX CORPORATION |
发明人 |
EDWARDS, CHARLES, O.;ALBERTALLI, DAVID;FELLINGHAM, GEORGE |
分类号 |
B05D1/26;B05C5/00;B05C9/12;B05C9/14;B05C11/00;B05C11/10;B05D3/00;B25B11/00;B29C67/00;B41J2/01;B41J2/04;B41J2/045;B41J2/05;B41J2/055;B41J3/407;B41J3/54;H01L21/00;H01L21/683;H01L23/12;H01L51/50;H05B33/10;H05K1/02;H05K3/06;H05K3/12;H05K13/04;(IPC1-7):B05C11/10 |
主分类号 |
B05D1/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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