发明名称 WAVEFORM GENERATOR FOR MICRODEPOSITION CONTROL SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1399269(A1) 申请公布日期 2004.03.24
申请号 EP20020756113 申请日期 2002.05.31
申请人 LITREX CORPORATION 发明人 EDWARDS, CHARLES, O.;ALBERTALLI, DAVID;FELLINGHAM, GEORGE
分类号 B05D1/26;B05C5/00;B05C9/12;B05C9/14;B05C11/00;B05C11/10;B05D3/00;B25B11/00;B29C67/00;B41J2/01;B41J2/04;B41J2/045;B41J2/05;B41J2/055;B41J3/407;B41J3/54;H01L21/00;H01L21/683;H01L23/12;H01L51/50;H05B33/10;H05K1/02;H05K3/06;H05K3/12;H05K13/04;(IPC1-7):B05C11/10 主分类号 B05D1/26
代理机构 代理人
主权项
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