曝光设备的传送式基板台

摘要

本发明提供一种曝光设备的传送式基板台，用于传送作为曝光作业对象物的带式基板，在曝光作业前使各式各样大小的对象物配置到正确位置。这种曝光设备的传送式基板台包括：底座；传送装置，设置为根据上述底座上面所投入的带式基板大小可在上述带式基板宽度方向移动，一边上下方向约束上述带式基板两侧端部一边移动；定位装置，设置成与上述传送装置连动，在宽度方向约束上述带式基板的两侧面，使带式基板移到正确位置；以及真空板，设置在上述底座上面而吸附上述带式基板，以便固定用上述传送装置和定位装置传送到作业位置的带式基板。

主权项

1.一种曝光设备的传送式基板台，其特征是包括：底座；传送装置，与所述底座上面所投入的带式基板大小相对应，可沿所述带式基板宽度方向移动，一边在上下方向约束所述带式基板的两侧端部一边使其移动；定位装置，与所述传送装置连动，在宽度方向约束所述带式基板的两侧面，使带式基板移动到正确的位置；以及真空板，设置在所述底座的上面，吸附所述带式基板，以便固定借助于所述传送装置和定位装置传送到作业位置的带式基板。