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发明名称
Verfahren zur Herstellung einer Elektronenquelle und Vorrichtung zur Herstellung einer Elektronenquelle
摘要
申请公布号
DE69820945(D1)
申请公布日期
2004.02.12
申请号
DE19986020945
申请日期
1998.09.16
申请人
CANON K.K., TOKIO/TOKYO
发明人
MITOME, MASANORI;YAMANOBE, MASATO;KISHI, FUMIO;ODA, HITOSHI
分类号
H01J9/02;(IPC1-7):H01J1/30
主分类号
H01J9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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