| 发明名称 | 铈类研磨材料浆剂及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明是含有全稀土类氧化物(TREO)占95重量％以上的铈类研磨材料粒子的铈类研磨材料浆剂。上述铈类研磨材料粒子中，对应于TREO的氟含量不到3重量％，利用激光衍射法测得的粒径分布在规定范围内。另外，将对应于TREO的氟含量定为0.005－0.5重量％可改善附着性。 | ||
| 申请公布号 | CN1473186A | 申请公布日期 | 2004.02.04 |
| 申请号 | CN02802963.1 | 申请日期 | 2002.09.12 |
| 申请人 | 三井金属鉱业株式会社 | 发明人 | 内野义嗣;牛山和哉 |
| 分类号 | C09K3/14;B24B37/00;B24B57/02 | 主分类号 | C09K3/14 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 胡烨 |
| 主权项 | 1.一种铈类研磨材料浆剂，含有全稀土类氧化物(TREO)占95重量％以上的铈类研磨材料粒子，其特征在于，上述铈类研磨材料粒子中，对应于TREO的氟含量不到3重量％，激光衍射法测得的累积10％粒径(D10)、累积50％粒径(D50)、累积90％粒径(D90)、最大粒子粒径(Dmax)在以下的范围内：0.1μm≤D10≤0.6μm0.2μm≤D50≤1.0μm0.3μm≤D90≤1.5μm0.5μm≤Dmax≤5.0μm。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||